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狭缝阀装置及半导体设备
摘要文本
芯恩(青岛)集成电路有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种狭缝阀装置及半导体设备，包括：狭缝阀本体、第一气阀、封挡板以及驱动件；狭缝阀本体内设有前后贯通的通道；第一气阀设于狭缝阀本体的顶部且用于向通道内喷射气体；封挡板可转动地设于狭缝阀本体内；驱动件与封挡板驱动连接以驱动封挡板的打开和闭合，在封挡板闭合时，封挡板封挡于通道内且靠近第一气阀设置，以将通道分隔为相互独立的第一空间和第二空间，其中第一空间与所述第一气阀连通。本实用新型在封挡板闭合时，封挡板封挡于通道内，第一气阀只吹向其中一空间，而另一空间因门阀关闭可处于密闭状态，减少了气体在狭缝阀通道中形成的紊流，防止在门阀位置累积沉积物和外界颗粒，有利于腔体内流场的稳定性。 该数据由<>整理
专利主权项内容
1.一种狭缝阀装置，其特征在于，包括：狭缝阀本体、第一气阀、封挡板以及驱动件；
所述狭缝阀本体内设有前后贯通的通道；
所述第一气阀设于所述狭缝阀本体的顶部且用于向所述通道内喷射气体；
所述封挡板可转动地设于所述狭缝阀本体内；
所述驱动件与所述封挡板驱动连接以驱动所述封挡板的打开和闭合，在所述封挡板闭合时，所述封挡板封挡于所述通道内且靠近所述第一气阀，以将所述通道分隔为相互独立的第一空间和第二空间，其中所述第一空间与所述第一气阀连通。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 狭缝阀装置及半导体设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421116591.4 |
| 申请日 | 2024/5/21 |
| 公告号 | CN222229649U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | F16K99/00 |
| 权利人 | 芯恩(青岛)集成电路有限公司 |
| 发明人 | 类延瑞; 王伟; 邢超; 甘信洋; 孙婷 |
| 地址 | 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401 |