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FIB预处理制样盒

申请号: CN202420655723.4
申请人: 胜科纳米(苏州)股份有限公司
更新日期: 2026-05-18

专利详细信息

项目 内容
专利名称 FIB预处理制样盒
专利类型 实用新型
申请号 CN202420655723.4
申请日 2024/4/1
公告号 CN222232146U
公开日 2024/12/24
IPC主分类号 G01N1/28
权利人 胜科纳米(苏州)股份有限公司
发明人 施志洋; 廖晓强; 李晓旻
地址 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区09栋507室

摘要文本

胜科纳米(苏州)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型属于芯片加工技术领域,公开了FIB预处理制样盒,用于放置载有样品的载具,载具呈片状设置,FIB预处理制样盒包括底座,底座上开设有卡槽,载具能够插入卡槽内部,并使载具相对于底座倾斜;以及盖帽,盖帽转动连接于底座,盖帽位于卡槽的一侧,且盖帽的开口位于盖帽靠近卡槽的一侧,盖帽能够转动至不阻碍载具插入卡槽的第一工作位置,以及盖设于载具上的第二工作位置。本实用新型的FIB预处理制样盒,当盖帽处于第一工作位置时,可将载有样品的载具插接在卡槽内部,当盖帽转动至第二工作位置,盖帽盖设于载具上,此时载具受到盖帽的防护,样品的表面不易接触灰尘,减小了对样品的污染,同时也不易被误触,减小了对样品的损伤。

专利主权项内容

1.FIB预处理制样盒,用于放置载有芯片样品的载具,所述载具呈片状设置,其特征在于,所述FIB预处理制样盒包括:
底座(1),所述底座(1)上开设有卡槽(11),所述载具能够插入所述卡槽(11)内部,并使所述载具相对于所述底座(1)倾斜;以及
盖帽(2),所述盖帽(2)转动连接于所述底座(1),所述盖帽(2)位于所述卡槽(11)的一侧,且所述盖帽(2)的开口位于所述盖帽(2)靠近所述卡槽(11)的一侧,所述盖帽(2)能够转动至不阻碍所述载具插入所述卡槽(11)的第一工作位置,以及盖设于所述载具上的第二工作位置。