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偏振光学显微测量系统
申请人信息
- 申请人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 申请人地址:215123 江苏省苏州市苏州工业园区若水路398号
- 发明人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 偏振光学显微测量系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420655820.3 |
| 申请日 | 2024/4/1 |
| 公告号 | CN222232330U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | G01N21/21 |
| 权利人 | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 发明人 | 张兴旺; 夏梦; 陈玉华 |
| 地址 | 江苏省苏州市工业园区若水路398号 |
摘要文本
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种偏振光学显微测量系统，包括光源、第一偏振组、样品架、物镜、无限远校正管镜、二维可调狭缝、成像透镜组和信号收集器。第一偏振组设于光源的光传播方向上，样品架设于第一偏振组背离光源的一侧，物镜设于样品架背离第一偏振组的一侧，无限远校正管镜设于物镜背离样品架的一侧，二维可调狭缝设于无限远校正管镜背离物镜的一侧，成像透镜组设于二维可调狭缝背离无限远校正管镜的一侧，信号收集器设于成像透镜组背离二维可调狭缝的一侧。本实用新型实施方式中的偏振光学显微测量系统，各个光学元件呈一字形布置形成一字形直列光路，实现了对微纳结构的偏振光谱和偏振成像的光学测试，提高了测试效率和准确度。
专利主权项内容
1.一种偏振光学显微测量系统，其特征在于，包括：
光源(1)，用于发射光束形成光路；
第一偏振组(2)，设于所述光源(1)的光传播方向上，所述第一偏振组(2)包括可移出光路的第一线偏振片(21)和第一1/4波片(22)，所述第一线偏振片(21)位于所述光源(1)和所述第一1/4波片(22)之间；
样品架(3)，其能够移动和调节角度并设于所述第一偏振组(2)背离所述光源(1)的一侧；
物镜(4)，设于所述样品架(3)背离所述第一偏振组(2)的一侧；
无限远校正管镜(5)，设于所述物镜(4)背离所述样品架(3)的一侧；
二维可调狭缝(6)，设于所述无限远校正管镜(5)背离所述物镜(4)的一侧；
成像透镜组(8)，设于所述二维可调狭缝(6)背离所述无限远校正管镜(5)的一侧；
信号收集器(9)，设于所述成像透镜组(8)背离所述二维可调狭缝(6)的一侧。