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一种晶圆测试装置的探针检测机构
申请人信息
- 申请人:广东可易亚半导体科技有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区泰然五路10号天安数码城天吉大厦五层CD座5C1
- 发明人: 广东可易亚半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆测试装置的探针检测机构 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420550628.8 |
| 申请日 | 2024/3/21 |
| 公告号 | CN222232531U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | G01R1/067 |
| 权利人 | 广东可易亚半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 赵喜高 |
| 地址 | 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区泰然五路10号天安数码城天吉大厦五层CD座5C1 |
摘要文本
广东可易亚半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种晶圆测试装置的探针检测机构，涉及到晶圆测试装置技术领域，包括安装座，所述安装座上设置有多个用于对晶圆检测的探针，所述安装座上设置有用于调节多个所述探针位置的位置调节单元，所述位置调节单元包括插接于所述安装座上的多个插轴，所述插轴的一端固定连接有连接杆，所述探针固定连接于所述连接杆上，所述插轴的另一端设置有用于驱动所述插轴进行移动的驱动单元。本实用新型通过设置插轴、连接杆、滑轮、导向块、第一导向槽、弹簧，通过驱动导向块升降的方式，驱动多个探针同步调节位置，便于对晶圆检测，提高检测效率，提高现有的检测机构，实用性高。 来源：百度马 克 数据网
专利主权项内容
1.一种晶圆测试装置的探针检测机构，包括安装座(1)，其特征在于：所述安装座(1)上设置有多个用于对晶圆检测的探针(2)，所述安装座(1)上设置有用于调节多个所述探针(2)位置的位置调节单元(3)，所述位置调节单元(3)包括插接于所述安装座(1)上的多个插轴(4)，所述插轴(4)的一端固定连接有连接杆(5)，所述探针(2)固定连接于所述连接杆(5)上，所述插轴(4)的另一端设置有用于驱动所述插轴(4)进行移动的驱动单元。