一种超透镜及光刻机

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深圳迈塔兰斯科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请公开了一种超透镜及光刻机，超透镜包括基底、反射部和结构面。基底用于提供支撑，基底上依次设有反射部和结构面，反射部用于将入射光反射至所述结构面，光线入射至结构面后，进入反射部，反射部将光线反射至结构面。结构面设有微纳结构阵列，结构面用于对出射的光线进行调制，反射部将光线反射至结构面后，光线透过结构面，并聚焦于一点。由于结构面和反射部均为平面结构，因此，本申请提供的超透镜是在平面反射镜的基础上利用结构面实现非球面反射镜的反射功能，因此，不需要对各组件的面型提出要求，使得本申请提出的超透镜的加工难度低于高精度面型反射镜的加工难度，因此，超透镜的生产成本相对较低。