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一种用于电池片的LDI曝光设备
申请人信息
- 申请人:江苏影速集成电路装备股份有限公司
- 申请人地址:221000 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路66号
- 发明人: 江苏影速集成电路装备股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于电池片的LDI曝光设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420390111.7 |
| 申请日 | 2024/2/29 |
| 公告号 | CN222232867U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 江苏影速集成电路装备股份有限公司 |
| 发明人 | 李天航; 王方江; 陈海巍 |
| 地址 | 江苏省徐州市邳州经济开发区辽河西路66号 |
摘要文本
江苏影速集成电路装备股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，一种用于电池片的LDI曝光设备，包括工件台，其上设置有多个导轨；加工台，其数量至少为两个且滑动连接在导轨上，加工台上设置有多个吸盘；对位机构，其横跨在工件台多个导轨的上方，并通过横移对两个加工台上的电池片进行对位；曝光机构，其横跨在工件台多个导轨的上方，并通过横移对对位后的电池片进行曝光。本实用新型结构紧凑、合理，操作方便，通过设置至少两个加工台，同时设置有能够横移的对位机构和曝光机构，实现多工位工作，实现电池片对位和曝光过程的同时进行，消除了对位过程对整体加工速度的制约因素，充分提高加工效率，降低加工成本。
专利主权项内容
1.一种用于电池片的LDI曝光设备，其特征在于，包括：
工件台(100)，其上设置有多个平行的导轨；
加工台(400)，其数量至少为两个且分别滑动连接在不同的导轨上，加工台(400)上设置有多个用于固定电池片的吸盘；
对位机构(500)，其横跨在工件台(100)多个导轨的上方，并通过横移对加工台(400)上的电池片进行对位；
曝光机构(600)，其横跨在工件台(100)多个导轨的上方，并通过横移对对位后的电池片进行曝光。