一种SMIF盒联动开合装置及SMIF盒装载设备

专利主权项内容

1.一种SMIF盒联动开合装置，所述SMIF盒包括基板(103)和罩设于所述基板(103)的盒盖(101)，所述盒盖(101)与所述基板(103)之间形成晶圆容纳腔，所述盒盖(101)与所述基板(103)之间设置有第一锁件，所述第一锁件具有连接所述盒盖(101)与所述基板(103)的锁止位置以及解除所述盒盖(101)与所述基板(103)连接状态的解锁位置；其特征在于，所述SMIF盒联动开合装置包括固定件(208)、活动件(209)、开锁机构和第二锁件(206)；
所述固定件(208)用于承载所述基板(103)，所述开锁机构安装于所述固定件(208)，所述第二锁件(206)活动安装于所述活动件(209)，且所述第二锁件(206)具有连接所述盒盖(101)与所述活动件(209)的随动位置以及解除所述盒盖(101)与所述活动件(209)连接状态的分离位置；所述开锁机构与所述第一锁件及所述第二锁件(206)均传动连接，用于带动所述第一锁件运动至所述解锁位置的同时联动所述第二锁件(206)运动至随动位置，以及带动所述第一锁件运动至所述锁止位置的同时联动所述第二锁件(206)运动至分离位置。