一种SMIF盒装载设备
摘要文本
北京华卓精科科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种SMIF盒装载设备，涉及半导体设备技术领域，为解决现有的SMIF盒装载设备致使港口门的姿态无法满足SMIF盒的高精度装载要求的问题而设计。该SMIF盒装载设备包括承载装置、升降装置和开合装置，承载装置包括背板、固定连接于背板的港口门以及用于调节背板101的俯仰角度和左右偏转角度的调节组件，港口门用于承载SMIF盒；升降装置包括支撑架和设置于支撑架的检测组件，支撑架可升降地设置于背板，检测组件用于在支撑架上升时检测晶圆容纳腔的晶圆状态参数；开合装置用于使盒盖与基板分离且联动盒盖与支撑架连接，以及使盒盖与基板连接且联动盒盖与支撑架分离。本实用新型通过调节背板的姿态，使得港口门能够满足SMIF盒的高精度装载要求。
专利主权项内容
1.一种SMIF盒装载设备，其特征在于，包括：
承载装置(1)，包括背板(101)、港口门(106)和调节组件，所述港口门(106)固定连接于所述背板(101)，所述港口门(106)用于承载SMIF盒(5)，所述SMIF盒(5)包括基板(503)和罩设于所述基板(503)的盒盖(501)，所述盒盖(501)与所述基板(503)之间形成晶圆容纳腔；所述调节组件用于调节所述背板(101)的俯仰角度和左右偏转角度；
升降装置(3)，包括支撑架(301)和设置于所述支撑架(301)的检测组件，所述支撑架(301)可升降地设置于所述背板(101)，所述检测组件用于在所述支撑架(301)上升时检测所述晶圆容纳腔的晶圆状态参数；
以及开合装置(2)，用于使所述盒盖(501)与所述基板(503)分离且联动所述盒盖(501)与所述支撑架(301)连接，以及使所述盒盖(501)与所述基板(503)连接且联动所述盒盖(501)与所述支撑架(301)分离。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种SMIF盒装载设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420944969.3 |
| 申请日 | 2024/4/30 |
| 公告号 | CN222233597U |
| 公开日 | 2024/12/24 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 北京华卓精科科技股份有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 北京市大兴区北京经济技术开发区科创十街19号院2号楼2层(北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团) |