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一种蒸镀机台复机方法
申请人信息
- 申请人:福建兆元光电有限公司
- 申请人地址:350109 福建省福州市闽侯县南屿镇生物医药和机电产业园区
- 发明人: 福建兆元光电有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种蒸镀机台复机方法 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202210881436.0 |
| 申请日 | 2022/7/26 |
| 公告号 | CN115323327B |
| 公开日 | 2024/1/9 |
| IPC主分类号 | C23C14/24 |
| 权利人 | 福建兆元光电有限公司 |
| 发明人 | 洪加添; 潘锴; 杨德佑; 刘印昂 |
| 地址 | 福建省福州市闽侯县南屿镇生物医药和机电产业园区 |
摘要文本
本发明公开一种蒸镀机台复机方法，将蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述蒸镀机台使用铬及铝铜合金进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；若所述验证结果为正常，则执行量产操作，通过覆盖铬及铝铜合金能够将蒸镀机台的衬板可能存在的含水腐蚀物或脏污物隔离在铬及铝铜合金下面，避免蒸镀时与这些污染物反应，从而有效避免维护保养后出现金属铝分离现象，提高了产品质量。
专利主权项内容
1.一种蒸镀机台复机方法，其特征在于，包括步骤：蒸镀机台开腔PM后，装好衬板并启动机台；将蒸镀机台抽真空至第二预设真空度后，按照150℃～250℃的烘烤温度以及1H～3H的烘烤时间对所述蒸镀机台的腔体进行烘烤，得到烘烤后的蒸镀机台；将所述烘烤后的蒸镀机台抽真空至第一预设真空度后，对所述烘烤后的蒸镀机台使用铬按照的厚度以及/>的镀率进行覆盖，得到覆盖铬后的蒸镀机台；对所述覆盖铬后的蒸镀机台使用铝铜合金按照的厚度以及的镀率进行覆盖，得到覆盖后的蒸镀机台，并将所述覆盖后的蒸镀机台抽真空至第三预设真空度后，对所述覆盖后的蒸镀机台进行质量验证，得到验证结果；当所述验证结果为正常，将所述蒸镀机台抽真空至1.0E-6Torr后，关闭所述蒸镀机台的挡板，并对所述蒸镀机台中的所述铝铜合金按照40％～42％的预熔功率以及20s～40s的预熔时间进行预熔，得到预熔后的蒸镀机台；打开所述挡板，并将所述预熔后的蒸镀机台按照的镀率上升幅度以及40s的镀率上升时间起镀，直至所述铝铜合金的镀率稳定在/> 来源：百度搜索马克数据网