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一种智能化半导体晶圆搬运可变机械手结构
申请人信息
- 申请人:上海广川科技有限公司
- 申请人地址:200444 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层
- 发明人: 上海广川科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种智能化半导体晶圆搬运可变机械手结构 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311461393.1 |
| 申请日 | 2023/11/6 |
| 公告号 | CN117438354A |
| 公开日 | 2024/1/23 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 上海广川科技有限公司 |
| 发明人 | 武一鸣; 杨琦; 刘恩龙; 古市昌稔; 曲泉铀; 张平; 苗义; 王贺明; 周伟强; 马刚; 张贤龙; 张菊; 董怀宝 |
| 地址 | 上海市宝山区山连路799号1幢1层-3层 |
摘要文本
上海广川科技有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，专利查询网 本发明涉及机械制造的技术领域，公开了一种智能化半导体晶圆搬运可变机械手结构，其特征在于：包括自上而下依次设置的多个执行器，每个所述执行器均与等间距调节机构，所述等间距调节机构用于通过不同尺寸的从动带轮驱动相同导程的多对滚珠丝杠，以带动各个执行器同时向处于中间的执行器做等间距靠近或远离运动，实现各个执行器之间的等间距调整；在每个所述执行器上均设置有连杆伸缩机构，每个所述连杆伸缩机构均与同一驱动器相连，所述驱动器用于带动连杆伸缩机构做伸缩运动，以实现晶圆在对应执行器上的夹持或者解除夹持。
专利主权项内容
1.一种智能化半导体晶圆搬运可变机械手结构，其特征在于：包括自上而下依次设置的多个执行器，每个所述执行器均与等间距调节机构，所述等间距调节机构用于通过不同尺寸的从动带轮驱动相同导程的多对滚珠丝杠，以带动各个执行器同时向处于中间的执行器做等间距靠近或远离运动，实现各个执行器之间的等间距调整；在每个所述执行器上均设置有连杆伸缩机构，每个所述连杆伸缩机构均与同一驱动器相连，所述驱动器用于带动连杆伸缩机构做伸缩运动，以实现晶圆在对应执行器上的夹持或者解除夹持。