← 返回列表
一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统
申请人信息
- 申请人:上海良薇机电工程有限公司
- 申请人地址:201913 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室
- 发明人: 上海良薇机电工程有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311216051.3 |
| 申请日 | 2023/9/20 |
| 公告号 | CN117450423A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | F17C7/00 |
| 权利人 | 上海良薇机电工程有限公司 |
| 发明人 | 纪雪峰; 陈亮; 范威威 |
| 地址 | 上海市崇明区长兴镇江南大道1333弄12号楼3层310室 |
摘要文本
上海良薇机电工程有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及一种特气输送供应装置、系统、方法及半导体工艺系统，特气输送供应装置包括第一气体输入单元、加热单元、过滤单元、调压单元、检测单元、第一气体输出单元和第一排放单元。其优点在于，通过过滤单元和调压单元对特殊气体进行二次过滤和二次调压，将槽车输送的高压特殊气体转变为低压特殊气体，以满足工艺腔室的使用要求；利用检测单元对经过滤单元、调压单元处理的特殊气体进行检测，判断特殊气体的气体成分、浓度等是否满足使用需求，有效提高气体处理效率，提高后续工艺良率；利用第一排放单元特气输送供应装置的特殊气体进行排放，确保未满足检测要求的特殊气体不进入后续工艺腔室。 关注公众号专利查询网
专利主权项内容
1.一种特气输送供应装置，用于槽车输送特殊气体，其特征在于，包括：第一气体输入单元，所述第一气体输入单元与吹扫装置连通，用于获取吹扫装置输送的特殊气体；加热单元，所述加热单元与所述第一气体输入单元连接，用于对特殊气体进行加热；过滤单元，所述过滤单元与所述第一气体输入单元连通，用于对特殊气体进行过滤；调压单元，所述调压单元与所述过滤单元连通，并位于所述过滤单元的上游和/或下游，用于对特殊气体进行调压；过流量保护单元，所述过流量保护单元分别与所述过滤单元、所述调压单元连通；检测单元，所述检测单元与所述过滤单元连通，用于对特殊气体进行检测；第一气体输出单元，所述第一气体输出单元与所述过滤单元连通，用于输出特殊气体；第一排放单元，所述第一排放单元分别与所述过滤单元、所述过流量保护单元连通，用于排放气体。