固体升华设备

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江苏南大光电材料股份有限公司; 南大光电半导体材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，来源： 本实用新型公开了一种固体升华设备，其包括升华釜、振荡器和气体脉冲装置；升华釜具有用于容纳固体物料的容腔；振荡器与所述升华釜连接，用于使所述升华釜振动；气体脉冲装置包括延伸至所述升华釜的容腔内的高压气体管路，所述高压气体管路的管壁上设有气体喷射孔，容纳于所述容腔内的固体物料能够覆盖所述气体喷射孔；其中，所述气体脉冲装置产生的脉冲气流能够从所述气体喷射孔喷出，以在所述容腔内形成气体脉冲。本发明提供的固体升华设备，通过气体脉冲装置与振荡器相互配合，使物料在升华釜内形成高效的三维混合，实现升华过程中固体物料的充分混合和分散，能够打破板结现象并促进热量均匀传递，提升升华效率。