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一种硅片抛光液回收再生装置
申请人信息
- 申请人:天津西美半导体材料有限公司
- 申请人地址:300000 天津市滨海新区华苑产业区海泰发展六道6号海泰绿色产业基地G座401室-04-24
- 发明人: 天津西美半导体材料有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅片抛光液回收再生装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420307069.8 |
| 申请日 | 2024/2/20 |
| 公告号 | CN222238976U |
| 公开日 | 2024/12/27 |
| IPC主分类号 | B01D29/03 |
| 权利人 | 天津西美半导体材料有限公司 |
| 发明人 | 高如山 |
| 地址 | 天津市滨海新区华苑产业区海泰发展六道6号海泰绿色产业基地G座401室-04-24 |
摘要文本
天津西美半导体材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种硅片抛光液回收再生装置，属于硅片抛光液回收技术领域，该一种硅片抛光液回收再生装置包括回收箱，所述回收箱内侧设置有安装槽，所述安装槽内侧安装有废液回收排出机构，所述废液回收排出机构用于对硅片抛光液进行回收取出，并避免硅片抛光液在所述回收箱底部发生残留，所述废液回收排出机构包括丝杆。该装置在使用时，通过废液回收排出机构对回收箱内的硅片抛光液进行刮动，避免硅片抛光液残留在回收箱内，通过抬起机构缩短了排出时间，解决了现有技术需要通过人力抬动并倾斜装置使得硅片抛光液离开装置，自动化水平较低，工作效率较低的问题，并且降低了工作量，实用性较强。
专利主权项内容
1.一种硅片抛光液回收再生装置，其特征在于，包括回收箱，所述回收箱内侧设置有安装槽，所述安装槽内侧安装有废液回收排出机构，所述废液回收排出机构用于对硅片抛光液进行回收取出，并避免硅片抛光液在所述回收箱底部发生残留，所述废液回收排出机构包括丝杆，所述丝杆转动安装于所述安装槽内侧，所述丝杆螺纹安装有套板，所述套板一侧固定安装有刮板，所述刮板底端和所述回收箱内底端滑动贴合，所述回收箱一侧连通安装有连通管。