一种半导体废气用的净化设备
申请人信息
- 申请人:深圳沃交科技有限公司
- 申请人地址:518000 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区滨河路与香蜜湖路交汇处天安创新科技广场(二期)东座803-A
- 发明人: 深圳沃交科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半导体废气用的净化设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420054352.4 |
| 申请日 | 2024/1/10 |
| 公告号 | CN222239447U |
| 公开日 | 2024/12/27 |
| IPC主分类号 | B01D50/60 |
| 权利人 | 深圳沃交科技有限公司 |
| 发明人 | 李智杰; 陶泓宇 |
| 地址 | 广东省深圳市福田区沙头街道天安社区滨河路与香蜜湖路交汇处天安创新科技广场(二期)东座803-A |
摘要文本
深圳沃交科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体生产技术领域，且公开了一种半导体废气用的净化设备，包括底板，所述底板的顶部设置有净化机构，所述净化机构包含有第一过滤箱和第二过滤箱，所述第一过滤箱与第二过滤箱均与底板固定连接，所述第一过滤箱的底部连通有排液管，排液管的内腔设置有电磁阀，第一过滤箱的左侧连通有进气管。本实用新型通过设置净化机构，可对废气进行净化，其中第一过滤箱内的净化液可对废气中的杂质进行过滤，通过控制第一电动推杆的伸长，可加速净化液的排出，方便换液，活性炭网板可对废气进一步过滤，净化效果好，通过设置移动机构，其中通过控制第二电动推杆的伸长和回缩，可将万向轮顶出和收回，从而方便装置移动。
专利主权项内容
1.一种半导体废气用的净化设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部设置有净化机构(2)，所述净化机构(2)包含有第一过滤箱(201)和第二过滤箱(210)，所述第一过滤箱(201)与第二过滤箱(210)均与底板(1)固定连接，所述第一过滤箱(201)的底部连通有排液管(215)，所述排液管(215)的内腔设置有电磁阀(216)，所述第一过滤箱(201)的左侧连通有进气管(202)，所述第一过滤箱(201)的顶部固定安装有支撑架(203)，所述支撑架(203)内腔的顶部固定安装有第一电动推杆(204)，所述第一电动推杆(204)的输出端固定安装有活塞(206)，所述第一过滤箱(201)的内腔滑动连接有过滤网板(207)，所述第一过滤箱(201)的右侧连通有连通管(209)，所述第二过滤箱(210)的左侧固定安装有风机(211)，所述风机(211)的输入端与连通管(209)连通，所述风机(211)的输出端通过管道与第二过滤箱(210)连通，所述第二过滤箱(210)的内腔滑动连接有活性炭网板(214)，所述第二过滤箱(210)的右侧连通有排气管(213)；
所述底板(1)的底部设置有移动机构(3)，所述移动机构(3)包含有移动箱(301)，所述移动箱(301)与底板(1)固定连接，所述移动箱(301)内腔的顶部固定安装有第二电动推杆(302)，所述第二电动推杆(302)的输出端固定安装有横板(303)，所述横板(303)的输出端固定安装有万向轮(304)。