一种尾气处理装置

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上海高笙集成电路设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及尾气处理设备技术领域，具体涉及一种尾气处理装置，包括主腔体、等离子发生器、多级冷却腔、排水箱以及多级分离塔。采用等离子电弧的方式对需要处理的制程气体进行分解，然后再多级冷却和喷淋，将处理后的尾气中可溶于水的气体进行溶解，随废水排出，其他的气体再进入多级分离塔，进行水汽分离，直至符合条件后排出；尾气处理效率高，处理更加彻底，处理效果好。通过在主腔体的外侧和下方设置有多级冷却腔，每级冷却腔还设置有多个冷却腔室，对主腔体内处理后的高温气体进行有效降温，冷却效果更好。同时还可以对气体进行进一步喷淋洗涤处理，将气体中水溶性气体溶解，改善尾气处理效果。