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尾气处理管路、半导体炉管设备
申请人信息
- 申请人:芯联集成电路制造股份有限公司
- 申请人地址:312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号
- 发明人: 芯联集成电路制造股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 尾气处理管路、半导体炉管设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420436099.9 |
| 申请日 | 2024/3/6 |
| 公告号 | CN222239573U |
| 公开日 | 2024/12/27 |
| IPC主分类号 | B01D53/76 |
| 权利人 | 芯联集成电路制造股份有限公司 |
| 发明人 | 蔡万和; 满益亮; 陈永成; 黄家明 |
| 地址 | 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号 |
摘要文本
芯联集成电路制造股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种尾气处理管路、半导体炉管设备，尾气处理管路应用于半导体炉管设备，所述尾气处理管路包括：管路本体、进气口和加热件；其中，管路本体中具有气体通道，气体通道具有相对的进气端和出气端，进气端用于通入包含待处理物质的尾气；进气口设置于管路本体上且与气体通道连通，用于向气体通道内通入反应气体；加热件设置于管路本体上，用于对气体通道内的反应气体和尾气进行加热，以使反应气体和尾气中的待处理物质在处于反应温度时发生化学反应；出气端用于排出反应气体和待处理物质发生化学反应之后的气体。本申请可以避免待处理物质堵塞尾气处理管路，降低管路堵塞的风险。
专利主权项内容
1.一种尾气处理管路，其特征在于，应用于半导体炉管设备，所述尾气处理管路包括：
管路本体，所述管路本体中具有气体通道，所述气体通道具有相对的进气端和出气端，所述进气端用于通入包含待处理物质的尾气；
进气口，设置于所述管路本体上且与所述气体通道连通，用于向所述气体通道内通入反应气体；
加热件，设置于所述管路本体上，用于对所述气体通道内的所述反应气体和所述尾气进行加热，以使所述反应气体和所述尾气中的待处理物质在处于反应温度时发生化学反应；
所述出气端用于排出所述反应气体和所述待处理物质发生化学反应之后的气体。