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处理长晶设备中尾气凝结的装置及长晶设备

申请号: CN202420005198.1
申请人: 苏州纳维科技有限公司
更新日期: 2026-05-21

专利详细信息

项目 内容
专利名称 处理长晶设备中尾气凝结的装置及长晶设备
专利类型 实用新型
申请号 CN202420005198.1
申请日 2024/1/2
公告号 CN222239578U
公开日 2024/12/27
IPC主分类号 B01D53/78
权利人 苏州纳维科技有限公司
发明人 李增林; 王建峰; 蔡德敏
地址 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区东荡田巷1号

摘要文本

苏州纳维科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及一种处理长晶设备中尾气凝结的装置及长晶设备,包括:壳体,其用于容纳反应液,所述壳体上开设有进气孔和出气孔,所述进气孔位于出气孔上侧;载板,其用于承载反应固体,所述载板水平设置于壳体内,所述载板上开设有多个通气孔,所述载板位于进气孔与出气孔之间;排气管,所述排气管插设在所述出气孔内,所述排气管的上端部高于所述壳体内的反应液;罩体,其位于壳体内部,所述罩体套设在排气管上,所述罩体与排气管之间设置有间隔以流通气体。其避免尾气中的碱性气体和酸性气体反应产生固体粉末并堵塞过滤装置,从而保证因气流堵塞发生扰动,能够提高单晶生长的均匀性及生长质量。

专利主权项内容

1.一种处理长晶设备中尾气凝结的装置,其特征在于,包括:
壳体,其用于容纳反应液,所述壳体上开设有进气口和出气孔,所述进气口位于出气孔上侧;
载板,其用于承载反应固体,所述载板水平设置于壳体内,所述载板上开设有多个通气孔,所述载板位于进气口与出气孔之间;
排气管,所述排气管插设在所述出气孔内;
罩体,其位于壳体内部,所述罩体套设在排气管上,所述罩体与排气管之间设置有间隔以流通气体,所述罩体高于反应液设置。