一种半导体行业粉料与液体的混合装置

专利主权项内容

1.一种半导体行业粉料与液体的混合装置，其特征在于，所述装置包括粉体上料机构、液体上料机构、搅拌混合机构、混合料密度检测机构以及混合料粘度检测机构；
所述搅拌混合机构包括搅拌罐、驱动机构、搅拌轴、搅拌叶片以及支撑轴承，所述搅拌轴通过支撑轴承固定在所述搅拌罐内，所述搅拌叶片设置在所述搅拌轴上，所述驱动机构设置在所述搅拌罐的上方，所述驱动机构包括依次连接的变频电机、减速机以及刚性联轴器，所述刚性联轴器连接所述搅拌轴，所述搅拌罐上表面设置有液体进料口、罐体循环液体进料口以及粘度计循环进料口，所述搅拌罐的底部设置有混合料出料口；
所述粉料上料机构包括粉料存储称重仓、粉料下料器以及粉料称重模块，所述粉料存储称重仓上设置有粉料进料口，所述粉料存储称重仓连接粉料称重模块，所述称重模块设置在搅拌罐上方，所述粉料下料器设置在粉料存储称重仓的下部，所述粉料存储称重仓的粉料出料口与搅拌罐连通；
所述液体上料机构包括液体上料泵以及液体质量流量计，所述液体上料泵的入口通入液体原料，所述液体上料泵的出口通过管路连接所述液体进料口，所述液体质量流量计设置在液体上料泵的出口与所述液体进料口之间的管路上；
所述混合料密度检测机构包括混合料循环泵以及混合料质量流量计，所述混合料循环泵的入口连接所述混合料出料口，所述混合料循环泵的出口通过管路连接所述罐体循环液体进料口，所述混合料质量流量计设置在混合料循环泵的出口与罐体循环液体进料口之间的管路上；
所述混合料粘度检测机构包括粘度测试管道泵、粘度计以及粘度计检测装置，所述粘度测试管道泵的入口连接所述混合料出料口，所述粘度测试管道泵的出口通过管路连接所述粘度计循环进料口，所述粘度计和粘度计检测装置设置在粘度测试管道泵的出口与粘度计循环进料口之间的管路上。