← 返回列表
基板翻转装置
申请人信息
- 申请人:上海世禹精密设备股份有限公司
- 申请人地址:201615 上海市松江区九亭镇金马路76号1幢
- 发明人: 上海世禹精密设备股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基板翻转装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311423664.4 |
| 申请日 | 2023/10/31 |
| 公告号 | CN117334617A |
| 公开日 | 2024/1/2 |
| IPC主分类号 | H01L21/677 |
| 权利人 | 上海世禹精密设备股份有限公司 |
| 发明人 | 梁猛; 赵凯; 林海涛; 卢升; 李帆; 李兵 |
| 地址 | 上海市松江区九亭镇金马路76号1幢 |
摘要文本
本发明公开了一种基板翻转装置，包含：承托模块；夹持模块，夹持模块可转动地设置在承托模块上，夹持模块夹持固定待翻转的基板；驱动模块，驱动模块设置在承托模块上，并与夹持模块相连，驱动模块驱动夹持模块绕着夹持模块与驱动模块的相连处水平旋转半周。本发明基板翻转装置，具有以下优点：对电机的精度和扭矩要求不高，通过侧面和末端的辅助确保了结构稳定可靠和精度，电机工作时间和负载率大幅降低；速度快，夹持机构压紧基板，其基板的起翘应力传递给夹板，结构上允许翻转速度更快；对翻转产品的刚性无要求；占用空间少，利于机构的小型化。
专利主权项内容
1.一种基板翻转装置，其特征在于，包含：承托模块；夹持模块，所述夹持模块可转动地设置在所述承托模块上，所述夹持模块夹持固定待翻转的所述基板；驱动模块，所述驱动模块设置在所述承托模块上，并与所述夹持模块相连，所述驱动模块驱动所述夹持模块绕着所述夹持模块与所述驱动模块的相连处水平旋转半周。