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基于图像清晰度聚焦的方法及装置
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于图像清晰度聚焦的方法及装置 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311459256.4 |
| 申请日 | 2023/11/3 |
| 公告号 | CN117491285A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | G01N21/01 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 胡伟雄; 秦雪飞; 任晓静; 梁安生 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种基于图像清晰度聚焦的方法及装置，其中基于图像清晰度聚焦的方法包括对待量测样品进行光学成像通过粗对焦获取焦面范围，光学成像过程包括样品成像和叠加成像；根据焦面范围通过叠加成像结合压电的精对焦获取焦面位置；若所述焦面位置对应叠加图像的清晰度为最大图像清晰度，则将所述焦面位置对应拍摄图像用于晶圆量测过程。本说明书实施例的光学成像系统仅需简单改进，几乎不占用过多的空间，无需复杂改进。进而光学成像后基于光信号对应的图像来确定目标焦面位置，实现快速、准确自聚焦，以便用于晶圆量测提升量测效率和精度。
专利主权项内容
1.一种基于图像清晰度聚焦的方法，其特征在于，所述基于图像清晰度聚焦的方法包括：对待量测样品进行光学成像通过粗对焦获取焦面范围，光学成像过程包括样品成像和叠加成像；根据焦面范围通过叠加成像结合压电的精对焦获取焦面位置；若所述焦面位置对应叠加图像的清晰度为最大图像清晰度，则将所述焦面位置对应拍摄图像用于晶圆量测过程。