一种高纯石英砂氯化提纯尾气收集装置

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江苏鑫华半导体科技股份有限公司; 徐州金龙湖泛半导体材料研究有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及石英砂氯化提纯生产技术领域，一种高纯石英砂氯化提纯尾气收集装置，通过提纯设备产生的尾气通过集气罩穿过玻璃管后，从玻璃管的顶部排出，进入尾气排放管，当尾气排放管中的侦测点侦测到尾气后，将信号反馈给惰性气源装置，惰性气源装置开始释放惰性气体，低温的惰性气体从气体密封罩侧面的进气口进入气体密封罩内，玻璃管内的负压将气体密封罩内的低温惰性气体通过玻璃管上的气孔吸入玻璃管内，与高温的尾气一同吸入尾气排放管中，最后通过风机排放至废气洗涤塔中处理，通过将高温的尾气与低温的惰性气体混合，可以有效降低尾气的温度，减缓温度对排放管道的影响，延长排放管道的使用寿命，降低成本。