一种芯片生产设备电磁干扰检测系统
申请人信息
- 申请人:上海创芯致锐互联网络有限公司
- 申请人地址:200131 上海市浦东新区自由贸易试验区张杨路707号二层西区205室
- 发明人: 上海创芯致锐互联网络有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种芯片生产设备电磁干扰检测系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311530433.3 |
| 申请日 | 2023/11/16 |
| 公告号 | CN117491787A |
| 公开日 | 2024/2/2 |
| IPC主分类号 | G01R31/00 |
| 权利人 | 上海创芯致锐互联网络有限公司 |
| 发明人 | 李志兴; 王喆坤 |
| 地址 | 上海市浦东新区自由贸易试验区张杨路707号二层西区205室 |
摘要文本
上海创芯致锐互联网络有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明公开了一种芯片生产设备电磁干扰检测系统，涉及电磁干扰检测技术领域，包括服务器、抗磁监管单元、细化管理单元、反馈分析单元、划分分析单元以及预警管理单元；本发明通过采集目标芯片生产设备的环境数据，并进行监管预警评估分析，以判断目标芯片生产设备是否存在电磁干扰，以便及时的做出预警操作，且通过信息反馈的方式对风险数据进行深入式影响评估分析，进而根据电磁干扰等级进行合理、有针对性的维护管理，以提高目标芯片生产设备的抗电磁干扰效果，且对预警数据进行预警监管性能评估分析，有助于提醒运管人员结合延误情况再对目标芯片生产设备进行合理、有针对性的管理，有助于提高目标芯片生产设备的预警性能和预警效果。 来自马-克-数-据-官网
专利主权项内容
1.一种芯片生产设备电磁干扰检测系统，其特征在于，包括服务器、抗磁监管单元、细化管理单元、反馈分析单元、划分分析单元以及预警管理单元；当服务器生成运管指令时，并将运管指令发送至抗磁监管单元，抗磁监管单元在接收到运管指令后，立即采集目标芯片生产设备的环境数据，环境数据包括传导干扰频率值和环境电磁辐射值，并对环境数据进行监管预警评估分析和深入式曲线分析，将得到的风险信号发送至细化管理单元和反馈分析单元；细化管理单元在接收到风险信号后，立即采集目标芯片生产设备的风险数据，风险数据包括阻抗值和设备故障率，并对风险数据进行深入式影响评估分析，将得到的二级影响信号发送至划分分析单元，并将得到的一级影响信号和三级影响信号发送至预警管理单元；反馈分析单元在接收到风险信号后，立即采集目标芯片生产设备的预警数据，预警数据包括响应时长和干扰传输值，并对预警数据进行预警监管性能评估分析，将得到的延误信号发送至预警管理单元；划分分析单元在接收到二级影响信号后，立即对二级影响信号所对应的电磁影响评估系数G进行深入式划分监管分析，将得到的次二级信号和次一级信号发送至预警管理单元。 数据由马 克 团 队整理