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暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311629093.X |
| 申请日 | 2023/11/30 |
| 公告号 | CN117589790A |
| 公开日 | 2024/2/23 |
| IPC主分类号 | G01N21/95 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 王婷婷 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供一种暗场照明装置及暗场照明的光学检测系统，其中暗场照明装置依次同轴设置光纤端子、准直微透镜阵列、微柱透镜阵列和聚焦镜组；所有光纤端子环形排列，用于通过其上光纤丝孔径为发散角实现光束传播；准直微透镜阵列上的颗粒单元与光纤端子对应的光纤丝一一对应，用于实现光束准直的环形光斑输出；微柱透镜阵列用于在光束传播XZ平面内的光束准直度不变，在YZ平面内光束形成预设的发散角；聚焦镜组用于在XZ平面内聚焦为一点，在YZ平面内以平行光束输出，从而实现晶圆表面缺陷线扫检测实用性更佳的光照装置，抑制外部杂散光的产生，无需繁琐的操作步骤等，且中空的结构设计可保证无需对常规检测成像光学组件进行大改进。
专利主权项内容
1.一种暗场照明装置，其特征在于，所述暗场照明装置包括：光纤端子、准直微透镜阵列、微柱透镜阵列及聚焦镜组；依次同轴设置所述光纤端子、所述准直微透镜阵列、所述微柱透镜阵列和所述聚焦镜组；所有的光纤端子环形排列，用于通过其上光纤丝孔径为发散角实现光束传播；所述准直微透镜阵列上的颗粒单元与所述光纤端子对应的光纤丝一一对应，以实现光束准直的环形光斑输出；所述微柱透镜阵列，用于在光束传播XZ平面内的光束准直度不变，在YZ平面内光束形成预设的发散角；所述聚焦镜组，用于在XZ平面内聚焦为一点，在YZ平面内以平行光束输出，在焦面处形成具有环形角分布的线形照明视场。