颗粒检测装置及方法
申请人信息
- 申请人:上海传芯半导体有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区沧海路2685号
- 发明人: 上海传芯半导体有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 颗粒检测装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311308446.6 |
| 申请日 | 2023/10/11 |
| 公告号 | CN117630029A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | G01N21/94 |
| 权利人 | 上海传芯半导体有限公司 |
| 发明人 | 车翰宣; 金钟洙; 王延红 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区沧海路2685号 |
摘要文本
上海传芯半导体有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，一种颗粒检测装置及方法，该装置包括光源、光束转换机构、数字微镜阵列、微透镜阵列、多个CCD和图像处理器，光源提供的入射光经光束转换机构转换为平行光束照射数字微镜阵列；数字微镜阵列中，相邻的微镜一个朝向光源翻转，另一个不朝向光源翻转，朝向光源翻转的微镜反射得到的反射光照射透光基板，不朝向光源翻转的微镜反射得到的反射光不照射透光基板；微透镜阵列接收透过透光基板的透射光，微透镜阵列的每个微透镜一对一地对应各个微镜；每个CCD一对一地对应微透镜，CCD接收透过微透镜的光信号，图像处理器根据CCD的光信号判断CCD的光分布是否变化确定基板上是否有颗粒。本发明具有检测效率高、可快速检测大面积的基板的优点。
专利主权项内容
1.一种颗粒检测装置，其特征在于，包括：光源、光束转换机构、数字微镜阵列、微透镜阵列、多个CCD和图像处理器，所述光源提供的入射光经所述光束转换机构转换为平行光束照射所述数字微镜阵列；所述数字微镜阵列具有多个可独立翻转的微镜，多个所述微镜并列排布，且多个所述微镜被配置为，相邻的所述微镜中，一个所述微镜朝向所述光源翻转，另一个所述微镜不朝向所述光源翻转，经过朝向所述光源翻转的所述微镜反射得到的反射光照射待检测的透光基板，经过不朝向所述光源翻转的所述微镜反射得到的反射光不照射所述透光基板；所述微透镜阵列用于接收透过所述透光基板的透射光，所述微透镜阵列的每个微透镜分别一对一地对应于各个所述微镜；每个所述CCD一对一地对应于所述微透镜，所述CCD用于接收透过对应的所述微透镜的透过光的光信号，所述图像处理器分别与多个所述CCD连接，所述图像处理器用于根据所述CCD接收到的光信号判断所述CCD的光分布是否发生变化以确定所述基板上是否有颗粒。。 （更多数据，详见马克数据网）