晶圆缺陷检测方法、系统、设备及可读介质

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上海朋熙半导体有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请提供了一种晶圆缺陷检测方法、系统、设备及介质，方法包括当考虑缺陷半径时，构建R‑Tree存储当前晶圆层和前一晶圆层关系，遍历当前晶圆层，查找增加缺陷和共同缺陷；遍历前一晶圆层，查找缺失缺陷，确定缺陷类型；当不考虑缺陷半径时，构建KD‑Tree存储当前晶圆层和前一晶圆层关系，遍历当前晶圆层，查找增加缺陷和共同缺陷；遍历前一晶圆层，查找缺失缺陷，确定缺陷类型。通过在KD‑Tree和R‑Tree之间建立有效的映射和匹配，本申请能够实现准确且高效的Adder缺陷计算，从而提高了半导体制造过程中缺陷分析的效率和可靠性。