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一种基于缺陷数据的区域分割方法、设备及介质

申请号: CN202311415437.7
申请人: 上海朋熙半导体有限公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种基于缺陷数据的区域分割方法、设备及介质
专利类型 发明申请
申请号 CN202311415437.7
申请日 2023/10/30
公告号 CN117454222A
公开日 2024/1/26
IPC主分类号 G06F18/24
权利人 上海朋熙半导体有限公司
发明人 张强
地址 上海市浦东新区涵桥路619号金鼎天地C栋15-17楼

摘要文本

上海朋熙半导体有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术,本申请提供了一种基于缺陷数据的区域分割方法、设备及介质,包括步骤:S1:获取缺陷数据源;S2:计算缺陷的外切圆半径;S3:分别计算缺陷对应的x轴坐标值排序后的前后差值和y轴坐标值排序后的前后差值;S4:分别计算缺陷对应的所述x轴坐标值和y轴坐标值所归属的标签,根据标签筛选x、y轴坐标值形成坐标集;S5:定义x轴方向或y轴方向所属的区域块函数,用来对每条缺陷样本进行轴方向上的类别归类;S6:对坐标区域进行合并整合,得到每个缺陷所属的分割区域标签。通过数据区域分割划分后,形成cluster间距离互不影响的区域块,在不同区域块可以实现并行cluster计算,节约了计算资源,提升了运算速度。

专利主权项内容

1.一种缺陷数据区域分割方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:获取缺陷数据源;其中,缺陷的中心坐标为(x, y), 缺陷的形状尺寸值为(XSIZE, YSIZE),缺陷簇要求的阈值为tolerance;S2:计算每个缺陷的外切圆半径r;S3:分别计算每个缺陷对应的x轴坐标值排序后差值x_gap和对应的y轴坐标值排序后差值y_gap;S4:基于所述x_gap和所述y_gap分别与tolerance的大小关系分别计算每个缺陷对应的所述x轴坐标值所归属的标签和所述y轴坐标值所归属的标签,基于所述所归属的标签筛选得到一组x轴坐标值和一组y轴坐标值, 分别排序形成坐标集x_split和坐标集y_split,坐标集x_split的值将x轴方向划分为len(x_split)+1个区间段,坐标集y_split的值将y轴方向划分为len(y_split)+1个区间段, 所述len(x_split)为x_split中坐标的个数,所述len(y_split)为y_split中坐标的个数;S5:定义x轴方向、y轴方向所属的区域块函数, 所述区域块函数用于判定当前样本x轴方向在所述len(x_split)+1个区间段中所属的区间段和当前样本y轴方向的坐标值在所述len(y_split)+1个区间段中所属的区间段,根据所述所属的区间段返回对应值作为x轴坐标值的分割标签和y轴坐标值的分割标签;S6:利用所述区域块函数和所述坐标集,生成每条缺陷对应的x轴坐标值和y轴坐标值的分割标签,对分割标签进行合并整合,得到每个缺陷所属的分割区域标签。 (来自 马克数据网)