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一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件

申请号: CN202420851154.0
申请人: 苏州万龙达电子科技有限公司
更新日期: 2026-05-30

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件
专利类型 实用新型
申请号 CN202420851154.0
申请日 2024/4/23
公告号 CN222198057U
公开日 2024/12/20
IPC主分类号 B08B3/02
权利人 苏州万龙达电子科技有限公司
发明人 陈宇翔; 翟会阳; 李永波; 李纪宏
地址 江苏省苏州市工业园区东富路32号A栋205室

摘要文本

苏州万龙达电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,包括工作台,所述工作台的上表面安装有清洗箱,所述清洗箱的内部开设有落水口;所述工作台的上表面一角设置有调节组件,所述工作台的两侧设置有固定机构;所述调节组件包括与工作台固定连接的调节电机,所述调节电机的输出端固定连接有驱动盘,所述驱动盘卡合连接有卡合盘,所述卡合盘贯穿连接有驱动轴,所述驱动轴的另一端固定连接有蜗杆,所述蜗杆啮合连接有蜗轮,所述蜗轮贯穿连接有伸入清洗箱内部的推杆;通过卡合盘可以让碳化硅晶片旋转至特定角度,并特定角度被持续冲洗,省时省力的同时,可以自动旋转,最终使得杂质被有效清理。

专利主权项内容

1.一种碳化硅晶片清洗用可调式固定组件,包括工作台(1),所述工作台(1)的一侧固定连接有支撑板(101),所述支撑板(101)的顶部固定连接有清洗喷头(102),所述工作台(1)的上表面安装有清洗箱(103),所述清洗喷头(102)斜向插入清洗箱(103),所述清洗箱(103)的内部开设有位于工作台(1)上的落水口(104);
其特征在于:所述工作台(1)的上表面一角设置有调节组件(2),所述工作台(1)的两侧设置有固定机构(3);
所述调节组件(2)包括与工作台(1)固定连接的调节电机(201),所述调节电机(201)的输出端固定连接有驱动盘(202),所述驱动盘(202)卡合连接有卡合盘(203),所述卡合盘(203)贯穿连接有驱动轴(204),所述驱动轴(204)上固定连接有驱动轮(205),所述驱动轴(204)的另一端固定连接有蜗杆(208),所述蜗杆(208)啮合连接有蜗轮(209),所述蜗轮(209)贯穿连接有伸入清洗箱(103)内部的推杆(304)。