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一种加热盘调节机构
申请人信息
- 申请人:拓荆科技(上海)有限公司
- 申请人地址:201306 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室
- 发明人: 拓荆科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种加热盘调节机构 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311678049.8 |
| 申请日 | 2023/12/7 |
| 公告号 | CN117637550A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 拓荆科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 杨辰烨 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区鸿音路1211号10幢304室 |
摘要文本
拓荆科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明涉及半导体加工制造技术领域，更具体的说，涉及一种加热盘调节机构。本发明提供的加热盘调节机构，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座：所述凸轮机构，与加热盘座紧密接触；所述加热盘，与加热盘座刚性连接；所述加热盘座，底部与球形铰链相连接；其中，所述凸轮机构，围绕加热盘轴线做回转运动，带动所述加热盘沿球形铰链在多个方向上进行相应运动，实现加热盘的对心及调平调整。本发明提出的加热盘调节机构，通过凸轮机构同时实现加热盘对心和调平，不仅将有助于提高产品质量，也将有助于提升整体的生产效率。。百度搜索专利查询网
专利主权项内容
1.一种加热盘调节机构，其特征在于，包括凸轮机构、球形铰链、加热盘与加热盘座：所述凸轮机构，与加热盘座紧密接触；所述加热盘，与加热盘座刚性连接；所述加热盘座，底部与球形铰链相连接；其中，所述凸轮机构，围绕加热盘轴线做回转运动，带动所述加热盘沿球形铰链在多个方向上进行相应运动，实现加热盘的对心及调平调整。