一种单晶片清洗装置
申请人信息
- 申请人:安徽承禹半导体材料科技有限公司
- 申请人地址:233000 安徽省蚌埠市天河路织造园3号区域
- 发明人: 安徽承禹半导体材料科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种单晶片清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420235757.8 |
| 申请日 | 2024/1/31 |
| 公告号 | CN222198120U |
| 公开日 | 2024/12/20 |
| IPC主分类号 | B08B3/12 |
| 权利人 | 安徽承禹半导体材料科技有限公司 |
| 发明人 | 王夏芳; 李伟东; 常文峰 |
| 地址 | 安徽省蚌埠市天河路织造园3号区域 |
摘要文本
安徽承禹半导体材料科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及单晶片清洗技术领域，且公开了一种单晶片清洗装置，包括底板，所述底板的上端固定安装有超声波震洗机，所述超声波震洗机的后端固定安装有排污管一，所述底板上端位于超声波震洗机的右侧固定安装有冲洗箱，所述冲洗箱的前方设置有清洗组件，所述清洗组件包括承重板，所述承重板固定安装在冲洗箱的前端，所述承重板的上端固定安装有蓄水箱。该单晶片清洗装置，通过安装超声波震洗机与清洗组件，便于使得该清洗装置能够利用超声震洗技术加纯水震洗清洁晶片表面抛光液体，且能够有效的清理研磨抛光后化学拋光磨料残留，利用高流动具有冲击力的清洗水对晶片表面冲洗，提高清洗装置在使用时的实用性。
专利主权项内容
1.一种单晶片清洗装置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的上端固定安装有超声波震洗机(2)，所述超声波震洗机(2)的后端固定安装有排污管一(3)，所述底板(1)上端位于超声波震洗机(2)的右侧固定安装有冲洗箱(5)，所述冲洗箱(5)的前方设置有清洗组件(8)，所述清洗组件(8)包括承重板(801)，所述承重板(801)固定安装在冲洗箱(5)的前端，所述承重板(801)的上端固定安装有蓄水箱(802)，所述蓄水箱(802)的上端固定安装有补充管(803)，所述冲洗箱(5)的中部固定设置有输出安装腔(804)，所述输出安装腔(804)的中部固定安装有水泵(805)，所述水泵(805)前端的进液端固定连通有抽取管(806)，所述抽取管(806)的进水端固定连通蓄水箱(802)的出水端，所述水泵(805)后端的出水端固定连通有输送管(807)，所述输送管(807)的出水端固定连通有蓄水框(808)，所述蓄水框(808)位于冲洗箱(5)的中部，所述蓄水框(808)的中部固定连通有清洗喷头(809)，所述清洗喷头(809)位于冲洗箱(5)的内部，所述超声波震洗机(2)的上方设置有支撑组件(6)。