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一种用于晶圆的超声波清洗设备

申请号: CN202421532632.8
申请人: 恒超源洗净科技(深圳)有限公司
更新日期: 2026-05-30

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种用于晶圆的超声波清洗设备
专利类型 实用新型
申请号 CN202421532632.8
申请日 2024/7/1
公告号 CN222198138U
公开日 2024/12/20
IPC主分类号 B08B3/12
权利人 恒超源洗净科技(深圳)有限公司
发明人 王婷婷; 曾献金
地址 广东省深圳市龙岗区平湖街道鹅公岭社区东深公路163号A栋101

摘要文本

恒超源洗净科技(深圳)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种用于晶圆的超声波清洗设备,包括超声波清洗主体,所述超声波清洗主体内部安装有放置板,且放置板顶端活动套接有转杆,所述转杆底端安装有第一锥齿轮。将晶圆放置在放置板上,在拧动转杆进行转动,带动第一锥齿轮进行转动,通过第一锥齿轮啮合带动第二锥齿轮进行转动,在带动螺杆进行转动,然后活动块在螺杆表面进行螺纹移动,在通过活动块推动连接块进行移动,同时活动块在放置板内部向上滑动,在推动支撑杆进行滑动,在通过支撑杆推动支撑块滑出放置板,通过放置板顶端设置的支撑块,使在放置时增加了支撑点,减少接触与放置板之间的接触面积,使得超声波在清洗时更加的快捷,提高清洗的效率。

专利主权项内容

1.一种用于晶圆的超声波清洗设备,其特征在于,包括超声波清洗主体(1),所述超声波清洗主体(1)内部安装有放置板(2),且放置板(2)顶端活动套接有转杆(3),所述转杆(3)底端安装有第一锥齿轮(4),且第一锥齿轮(4)表面啮合连接有第二锥齿轮(5),所述第二锥齿轮(5)安装在螺杆(6)外壁,且螺杆(6)表面螺纹连接有活动块(7),所述活动块(7)顶端活动连接有连接块(8),且连接块(8)顶端固定连接有支撑杆(9),所述支撑杆(9)顶端固定连接有支撑块(10)。