一种用于传送晶圆的机械臂及晶圆传送系统

专利主权项内容

1.一种用于传送晶圆的机械臂，其特征在于，包括用于取放晶圆的第一机械手组件和第二机械手组件，所述第一机械手组件设置在上层，所述第二机械手组件设置在下层，所述第一机械手组件和第二机械手组件通过转轴组件连接，形成一具有上下层的X型结构；位于转轴组件同一侧的所述第一机械手组件的一端和所述第二机械手组件的一端用于同时各自取放一片相同尺寸或不同尺寸的晶圆，以实现晶圆的双取双放；所述第一机械手组件包括第一机械手指和第一机械手，所述第二机械手组件包括第二机械手指和第二机械手；所述第一机械手指包括第一前部手指和第一后部手指，所述第一前部手指设置在所述第一机械手的一端，所述第一后部手指设置在所述第一机械手的另一端；所述第二机械手指包括第二前部手指和第二后部手指，所述第二前部手指设置在所述第二机械手的一端，所述第二后部手指设置在所述第二机械手的另一端；所述第一机械手指和第二机械手指并拢，同时实现两片晶圆的拾取；所述第一机械手指和第二机械手指张开预设角度，同时实现两片晶圆的放置；还包括小臂和大臂，其中，所述小臂的一端通过转轴组件与所述第一机械手组件和第二机械手组件连接，其另一端通过小臂旋转轴组件与所述大臂的一端连接，所述大臂的另一端通过大臂旋转轴组件与控制中枢连接；所述控制中枢用于控制所述大臂、小臂、第一机械手组件和第二机械手组件的动作，以对晶圆进行取放。