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干法清洗机

申请号: CN202420922061.2
申请人: 上海博纳微电子设备有限公司
更新日期: 2026-05-30

专利详细信息

项目 内容
专利名称 干法清洗机
专利类型 实用新型
申请号 CN202420922061.2
申请日 2024/4/29
公告号 CN222198167U
公开日 2024/12/20
IPC主分类号 B08B7/00
权利人 上海博纳微电子设备有限公司
发明人 徐志先; 刘亮; 任凯; 蒋萍燕
地址 上海市浦东新区秀浦路3999号12栋2楼(西门)

摘要文本

上海博纳微电子设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及清洗设备技术领域,且公开了干法清洗机,包括清洗机外壳、安装在清洗机外壳上的控制面板,以及安装在清洗机外壳底部的轮子,所述清洗机外壳的内部分别开设有铅板空腔和安装腔,所述安装腔的内部安装有真空泵和射频电源本体,所述铅板的内部开设了抽气口和等射频电源辐射入口。该干法清洗机,通过铅板腔体设计,且腔体结构材质使用铅板膈开内部高压电压离子辐射,两路气体分开进入,并可控制不同气氛流量和时间,从而达到提升零件清洗效率的效果,通过在铅板空腔的内部安装了排气管和在排气管上螺纹连接了带有净化网的过滤阀,使零件在清洁完成后,铅板空腔内部的空气能够被净化后再排放,从而达到保护环境的效果。

专利主权项内容

1.干法清洗机,包括清洗机外壳(1)、安装在清洗机外壳(1)上的控制面板(2),以及安装在清洗机外壳(1)底部的轮子(3),其特征在于:所述清洗机外壳(1)的内部分别开设有铅板空腔(7)和安装腔(9),所述安装腔(9)的内部安装有真空泵(8)和射频电源本体(10),所述铅板空腔(7)的内部开设了抽气口(13)和等射频电源辐射入口(14),其中真空泵(8)的输入端与抽气口(13)相连通,其中射频电源本体(10)的输出端与等射频电源辐射入口(14)相连通,所述铅板空腔(7)的内部开设有排气管(16),排气管(16)上连接有过滤阀(11)。