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一种半导体废气回收装置

申请号: CN202323646701.6
申请人: 江苏诺邦环保科技有限公司
更新日期: 2026-05-30

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种半导体废气回收装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202323646701.6
申请日 2023/12/29
公告号 CN222198258U
公开日 2024/12/20
IPC主分类号 B08B15/02
权利人 江苏诺邦环保科技有限公司
发明人 陶玉珊
地址 江苏省无锡市隐秀路813-1726

摘要文本

江苏诺邦环保科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本申请涉及一种半导体废气回收装置,应用在半导体技术领域,包括固定板,与所述固定板连接的升降缸,与所述升降缸连接的连接座,与所述连接座连接的万向机构,与所述万向机构连接的水平运动机构,与所述水平运动机构连接的回收机构,所述回收机构,包括管道风机,与所述管道风机连接的波纹管,与所述波纹管连接的回收罩,通过升降缸带动着万向机构的上下,同时设置了万向机构,方便了回收罩的转向,改变了传统的回扣罩固定结构,万向机构中的驱动电机的转动带动着扇形齿轮的进而驱动了回收罩转向,同时设置了水平运动机构,方便了回收罩水平方向的运动,方便水平方向进行回收废气。

专利主权项内容

1.一种半导体废气回收装置,其特征在于:包括固定板(1),与所述固定板(1)连接的升降缸(2),与所述升降缸(2)连接的连接座(3),与所述连接座(3)连接的万向机构(4),与所述万向机构(4)连接的水平运动机构(5),与所述水平运动机构(5)连接的回收机构(6),所述回收机构(6),包括管道风机(7),与所述管道风机(7)连接的波纹管(8),与所述波纹管(8)连接的回收罩(9)。 (来 自 )