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套刻误差量测的方法、装置、系统及存储介质
申请人信息
- 申请人:魅杰光电科技(上海)有限公司
- 申请人地址:200131 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼
- 发明人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 套刻误差量测的方法、装置、系统及存储介质 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311597002.9 |
| 申请日 | 2023/11/27 |
| 公告号 | CN117518736A |
| 公开日 | 2024/2/6 |
| IPC主分类号 | G03F7/20 |
| 权利人 | 魅杰光电科技(上海)有限公司 |
| 发明人 | 王志文; 张奇; 温任华 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼 |
摘要文本
魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，来自马-克-数-据-官网 。本申请提供一种套刻误差量测的方法、装置、系统及存储介质，其中套刻误差量测的方法包括：采用套刻标识模板，在待量测图上匹配获取定位匹配图形；将定位匹配图形进行分割获得标记位置及两相邻区域；计算两相邻区域图像的相关性系数，相关性系数代表两相邻区域的相似度；若相关性系数满足预设阈值，则根据套刻标识对应标记位置来确定套刻误差。本说明书实施例套刻误差量测的方法建模流程简单，且提升量测的准确性和稳定性。
专利主权项内容
1.一种套刻误差量测的方法，其特征在于，所述套刻误差量测的方法包括：采用套刻标识模板，在待量测图上匹配获取定位匹配图形；将定位匹配图形进行分割获得标记位置及两相邻区域；计算两相邻区域图像的相关性系数；若所述相关性系数满足预设阈值，则根据套刻标识对应标记位置来确定套刻误差。