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Z轴运动平台及测试打点装置
摘要文本
矽电半导体设备(深圳)股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开一种Z轴运动平台及测试打点装置，用于驱动放置芯片的载具升降，Z轴运动平台包括底座、承载台、三根丝杆和驱动件，底座设置有沿底座的竖直方向延伸的导轨；承载台设置于底座的上方，承载台上设置有滑块，承载台通过滑块滑动地设置于导轨，且承载台具有支撑载具的承载面；三根丝杆均转动地设置于承载台并与底座连接，且三根丝杆环形设置；驱动件设置于承载台；驱动件用于驱动三根丝杆转动，以使承载台在底座的上方升降。该Z轴运动平台通过驱动件驱动三根丝杆转动，以使承载台在底座的上方升降，其三根丝杆能够对承载台的多个位置进行支撑，以改善承载台的受力状态，使其受力更加均匀，从而避免承载台的位置偏离。。数据由 团 队整理
专利主权项内容
1.一种Z轴运动平台，用于驱动放置芯片的载具升降，其特征在于，所述Z轴运动平台包括：
底座，所述底座设置有沿所述底座的竖直方向延伸的导轨；
承载台，所述承载台设置于所述底座的上方，所述承载台上设置有滑块，所述承载台通过所述滑块滑动地设置于所述导轨，且所述承载台具有支撑所述载具的承载面；
三根丝杆，三根所述丝杆均转动地设置于所述承载台并与所述底座连接，且三根所述丝杆环形设置；
驱动件，所述驱动件设置于所述承载台；所述驱动件用于驱动三根所述丝杆转动，以使所述承载台在所述底座的上方升降。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | Z轴运动平台及测试打点装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420252135.6 |
| 申请日 | 2024/2/1 |
| 公告号 | CN222145057U |
| 公开日 | 2024/12/10 |
| IPC主分类号 | G01R1/04 |
| 权利人 | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
| 发明人 | 钟金松 |
| 地址 | 广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区 |