一种纳米压印用辊压装置

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江苏优众微纳半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用涉及纳米压印领域，尤其公开了一种纳米压印用辊压装置，包括工作台，所述工作台顶部设置有辊压机构，所述辊压机构包括支架，所述支架顶部连接有第一横板，所述第一横板一侧固定设置有液压杆，所述液压杆输出端固定连接有第二横板，第一横板侧壁上开设有行程槽，所述行程槽内活动连接有位移块，所述位移块侧壁上固定连接有连杆；通过辊压机构，上的辊轮形成的倾斜面接触，通过液压杆升降带动辊轮升降运动，接触时压印膜板与晶圆片渐次贴合，使得辊轮辊压压印膜板，辊压装置能够提供稳定的压印环境和可重复的压印结果，确保生产的一致性和质量，辊压装置能够提供高度精确的压力控制和均匀的压印力，从而实现对纳米级结构的精确加工和压印。