一种台阶形半导体工程用电极

摘要文本

安徽四象半导体材料科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种台阶形半导体工程用电极，包括电极，电极包括中心盘和环形套块，中心盘的上壁高度与环形套块上壁齐平或中心盘的上壁高度高于环形套块上壁高度，环形套块下壁高度低于中心盘下壁高度，环形套块靠近中心盘的一侧开设外扩斜面。在本实用新型申请的电极进行使用过程中，通过环形套块下壁高度低于中心盘下壁的结构使电极整体下壁形成台阶型结构，对电极下侧等离子体进行聚拢，并通过环形套块的外扩斜面，增加电极下口的笼罩面积，进一步提高等离子体汇聚的密度，进而提高等离子蚀刻的工艺效率，提高蚀刻效率。