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粒子束显微镜
摘要文本
卡尔蔡司显微镜有限责任公司; 卡尔蔡司SMT有限责任公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，一种粒子束显微镜，包括：电子束源，该电子束源用于生成电子束；束管(245)，该束管具有导电内侧表面、第一端和第二端，其中电子束进入束管(245)的第一端并从束管(245)的第二端出来；磁性物镜(240)，该磁性物镜用于将电子束聚焦在物体平面中，其中磁性物镜(240)具有磁性线圈(243)和具有两个极端的极靴(241)，每个极端围绕磁性物镜(240)的对称轴线延伸；电势供应系统(262)，该电势供应系统被配置为将电势馈送到束管(245)的导电内侧表面；其中束管(245)包括具有内壁和外壁的电绝缘本体，其中电绝缘本体的内壁上设有导电层(211)，该导电层形成该束管(245)的导电内侧表面，并且其中导电层(211)由化学镀镍形成。
专利主权项内容
1.一种粒子束显微镜，其特征在于，所述粒子束显微镜包括：
电子束源，该电子束源用于生成电子束；
束管，该束管具有导电内侧表面、上端和下端，并且被配置为使得该电子束进入该束管的上端并从该束管的下端出来；
磁性物镜，该磁性物镜用于将该电子束聚焦在物体平面中，其中该磁性物镜具有磁性线圈和具有两个端的极靴，每个端围绕该磁性物镜的粒子光轴延伸；
电压源，该电压源被配置为将电势馈送到该束管的导电内侧表面；
其中该束管包括具有内壁和外壁的电绝缘本体，并且
其中该电绝缘本体的内壁上设有化学镀镍层，该化学镀镍层形成该束管的导电内侧表面。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 粒子束显微镜 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420179808.X |
| 申请日 | 2024/1/24 |
| 公告号 | CN222146136U |
| 公开日 | 2024/12/10 |
| IPC主分类号 | H01J37/26 |
| 权利人 | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司; 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 发明人 | A·施曼兹; J·温索拉; J·波梅伦克 |
| 地址 | 德国耶拿; 德国上科亨 |