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一种图像聚焦方法和图像聚焦系统

申请号: CN202311686192.1
申请人: 魅杰光电科技(上海)有限公司
更新日期: 2026-03-09

专利详细信息

项目 内容
专利名称 一种图像聚焦方法和图像聚焦系统
专利类型 发明申请
申请号 CN202311686192.1
申请日 2023/12/8
公告号 CN117452782A
公开日 2024/1/26
IPC主分类号 G03F7/20
权利人 魅杰光电科技(上海)有限公司
发明人 王志文; 张奇
地址 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区海洋一路333号1号楼、2号楼

摘要文本

魅杰光电科技(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术,本发明公开了一种图像聚焦方法和图像聚焦系统,图像聚焦方法通过获取对比度曲线和图像比对模板;获取测量套刻标记的测量套刻图像,并获取测量套刻图像的图像对比度值;将图像对比度值与对比度曲线进行比对,以获取至少一焦面位置;基于至少一焦面位置获取至少一粗聚焦焦面图像,基于至少一粗聚焦焦面图像获取粗聚焦最佳焦面位置;围绕粗聚焦最佳焦面位置获取多个细聚焦焦面位置,将图像比对模板与细聚焦焦面图像进行匹配,以得到最终匹配得分曲线;基于最终匹配得分曲线获取细聚焦最佳焦面位置。本发明能够在一定程度上替代现有的白光干涉模块,也解决了现有的图像聚焦方法容易聚焦失败的问题,实现套刻图案的快速聚焦。

专利主权项内容

1.一种图像聚焦方法,其特征在于,包括:获取对比度曲线和图像比对模板,其中,所述对比度曲线为基于模板套刻图像组图获得,所述模板套刻图像组图基于所述模板套刻标记获得,所述图像比对模板为基于所述模板套刻标记在理想焦面位置处的理想模板套刻图像获得;获取测量套刻标记的测量套刻图像,并获取所述测量套刻图像的图像对比度值;将所述图像对比度值与所述对比度曲线进行比对,以获取至少一焦面位置;基于至少一所述焦面位置获取至少一粗聚焦焦面图像,基于至少一所述粗聚焦焦面图像获取粗聚焦最佳焦面位置;围绕所述粗聚焦最佳焦面位置获取多个细聚焦焦面位置,将所述图像比对模板分别与所述多个细聚焦焦面位置处获取的多个细聚焦焦面图像进行NCC模板匹配,以得到最终匹配得分曲线;基于所述最终匹配得分曲线获取最佳匹配分数对应的细聚焦最佳焦面位置,并对所述细聚焦最佳焦面位置进行采图测量。 来源:马 克 团 队