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一种半自动转移晶圆的装置
摘要文本
成都海威华芯科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种半自动转移晶圆的装置，包括承重底座和真空泵，所述承重底座上设置有晶圆托盘、镀金载板托盘和真空转移机构；所述真空转移机构包括旋转底座和升降支架；所述晶圆托盘、镀金载板托盘位于真空转移机构两侧，且中心位置距离旋转底座相同距离；所述真空泵通过设置于承重底座内的第一真空管道与晶圆托盘的底部连接，真空泵通过设置于承重底座内的第二真空管道与镀金载板托盘的底部连接，真空泵还通过设置于升降支架内的第三真空管道与支架吸盘连接。本实用新型进行晶圆转移时不需进行用专用托盘来反复倒片，节省时间，提升效率；同时，该装置进行晶圆转移后，保证晶圆和镀金载板在一个同心圆，方便后续测试、检验等制程。 数据由 数 据整理
专利主权项内容
1.一种半自动转移晶圆的装置，其特征在于：包括承重底座和真空泵，所述承重底座上设置有晶圆托盘、镀金载板托盘和真空转移机构；
所述真空转移机构包括旋转底座和升降支架，所述升降支架的一端与旋转底座连接，升降支架的另一端设置有朝下的支架吸盘；
所述晶圆托盘、镀金载板托盘位于真空转移机构两侧，且中心位置距离旋转底座相同距离；
所述真空泵通过设置于承重底座内的第一真空管道与晶圆托盘的底部连接，真空泵通过设置于承重底座内的第二真空管道与镀金载板托盘的底部连接，真空泵还通过设置于升降支架内的第三真空管道与支架吸盘连接；所述晶圆托盘、镀金载板托盘、支架吸盘均设置有贯穿吸附微孔。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种半自动转移晶圆的装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323586560.3 |
| 申请日 | 2023/12/27 |
| 公告号 | CN222146176U |
| 公开日 | 2024/12/10 |
| IPC主分类号 | H01L21/683 |
| 权利人 | 成都海威华芯科技有限公司 |
| 发明人 | 段小洪 |
| 地址 | 四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都市双流区西南航空港经济开发区物联大道88号 |