抓取部件、机械手及晶圆清洗设备

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江苏芯梦半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请实施例涉及一种抓取部件、机械手及晶圆清洗设备。其中，抓取部件包括侧壁部、抵接部，以及连接部；其中，连接部连接侧壁部与抵接部；侧壁部、连接部和抵接部之间围成凹槽；在抓取部件抓取晶圆承载装置的状态下，抵接部远离连接部的端部与晶圆承载装置的把手抵接，抵接部与晶圆承载装置的把手之间为线接触，晶圆承载装置的把手的至少部分区域悬置于凹槽上。根据本申请实施例提供的抓取部件大大减小抓取部件与晶圆承载装置的接触面积，进而避免清洗液残存在晶圆承载装置与抓取部件之间，保证对晶圆与晶圆承载装置的清洗效果。