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基于双Z轴的对焦装置及方法
申请人信息
- 申请人:奈米科学仪器设备(上海)有限公司
- 申请人地址:200000 上海市浦东新区自由贸易试验区金海路1000号48幢1-2层
- 发明人: 奈米科学仪器设备(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 基于双Z轴的对焦装置及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311547161.8 |
| 申请日 | 2023/11/20 |
| 公告号 | CN117706757A |
| 公开日 | 2024/3/15 |
| IPC主分类号 | G02B21/26 |
| 权利人 | 奈米科学仪器设备(上海)有限公司 |
| 发明人 | 刘志平; 洪建立; 卢思迪 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号48幢1-2层 |
摘要文本
奈米科学仪器设备(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提出了一种基于双Z轴的对焦装置及方法，该装置包括：成像系统，其包括配有显微镜的相机，其安装于基座的悬挂台；运动平台，位于悬挂台的下方，用于承接样品，其安装于龙门横梁，龙门横梁用于承载运动平台；一号连接机构、Z1轴和一号位移单元，由上至下依次连接，一号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z1轴的下端，一号连接机构安装于龙门横梁；二号连接机构、Z2轴和二号位移单元，由上至下依次连接，二号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z2轴的下端，二号连接机构安装于龙门横梁；一号连接机构和二号连接机构中，至少一个连接机构为铰接机构。本发明可实现在后续检测量测过程中，样品与主光轴的垂直的动态调整。
专利主权项内容
1.一种基于双Z轴的对焦装置，其特征在于，包括：成像系统，其包括配有显微镜的相机，其安装于基座的悬挂台；运动平台，位于悬挂台的下方，用于承接样品，其安装于龙门横梁，所述龙门横梁用于承载运动平台；一号连接机构、Z1轴和一号位移单元，由上至下依次连接，一号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z1轴的下端，一号连接机构安装于龙门横梁；二号连接机构、Z2轴和二号位移单元，由上至下依次连接，二号位移单元可沿Z向移动，其移动端连接Z2轴的下端，二号连接机构安装于龙门横梁；所述一号连接机构和二号连接机构中，至少一个连接机构为铰接机构；单独位移模式时，Z1轴和Z2轴各自的上端面之间，在Z向产生高度差，从而使得运动平台倾斜。