一种RF电源传电机构

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江苏先导微电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，公开了一种RF电源传电机构，包括：电源、基座、盖板、第一导电棒、第二导电棒以及接电元件；所述接电元件和所述第二导电棒连接，所述第一导电棒竖直贯穿所述基座且下端部与所述电源电连接，所述第二导电棒和所述盖板滑动连接，且所述第二导电棒与所述盖板之间设有弹性件，所述盖板转动一定角度盖设在所述基座上方，所述第二导电棒在所述弹性件的弹力作用下与所述第一导电棒接触导通，进而使所述电源和所述接电元件传电导通。本实用新型的有益效果：简化结构，降低生产成本，确保RF电源和接电元件接通时的稳定性，避免RF电源和接电元件传电时接触不良，确保接电元件正常工作。