光学量测系统、光学量测方法及存储介质
申请人信息
- 申请人:睿励科学仪器(上海)有限公司
- 申请人地址:201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华佗路68号6幢
- 发明人: 睿励科学仪器(上海)有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 光学量测系统、光学量测方法及存储介质 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN202311805579.4 |
| 申请日 | 2023/12/26 |
| 公告号 | CN117450929B |
| 公开日 | 2024/3/22 |
| IPC主分类号 | G01B11/00 |
| 权利人 | 睿励科学仪器(上海)有限公司 |
| 发明人 | 庄源; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区华佗路68号6幢 |
摘要文本
睿励科学仪器(上海)有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提供了光学量测系统、光学量测方法及存储介质。所述光学量测系统包括多台相同类型的量测机台，包括标准的第一机台及至少一台非标的第二机台；控制器，连接各所述量测机台，并被配置为：经由所述第一机台及所述第二机台，分别获取同一标准样品的第一光谱信息及第二光谱信息，并据此计算对应的第一膜厚参数及第二膜厚参数；根据所述第一机台的第一膜厚参数，以及所述第二机台的光学系统参数和/或样品模型参数，构建并求解关于所述第二光谱信息的优化方程，以优化所述第二机台的光学系统参数和/或样品模型参数；以及经由所述第一机台及至少一台所述第二机台，分别根据其对应的光学系统参数和/或样品模型参数，并行检测多个待测样品。 （来 自 专利查询网）
专利主权项内容
1.一种光学量测系统，其特征在于，包括：多台相同类型的量测机台，其中包括标准的第一机台，以及至少一台非标的第二机台；以及控制器，连接各所述量测机台，并被配置为：经由所述第一机台及所述第二机台i，分别获取同一标准样品的第一光谱信息及第二光谱信息，并据此计算所述标准样品中多个量测单元j的第一膜厚参数及第二膜厚参数/>之间的厚度差/>；根据各所述厚度差/>的绝对值，筛选所述第二机台i与所述第一机台之间检测偏差最大的多个目标量测单元/>；根据所述多个目标量测单元/>的第一膜厚参数/>，以及所述第二机台i的光学系统参数/>和/或样品模型参数/>，构建并求解关于所述多个目标量测单元的第二光谱信息/>的优化方程，其中，所述优化方程被表示为；采用优化算法，拟合所述光学系统参数和/或所述样品模型参数/>，以确定修正所述第二机台i与所述第一机台在所述多个目标量测单元/>的检测偏差的光学系统参数/>和/或样品模型参数；以及经由所述第一机台及至少一台所述第二机台i，分别根据其对应的光学系统参数和/或样品模型参数，并行检测多个待测样品。