磁悬浮平面电机的位移装置

专利主权项内容

1.磁悬浮平面电机的位移装置，其特征在于，包括：
定子，所述定子设有磁体阵列、读数头和光谱共焦位移传感器，所述磁体阵列沿水平面延伸，所述读数头包括有至少一个第一读数头和至少一个第二读数头，所述光谱共焦位移传感器设有至少三个且不共线设置；
动子，所述动子设有第一阵列三相线圈、第二阵列三相线圈以及平面光栅；其中，
所述第一读数头用于读取所述平面光栅沿第一方向的坐标，所述第二读数头用于读取所述平面光栅沿第二方向的坐标，在动子的运动过程中，所述平面光栅始终位于所述至少一个所述第一读数头、至少一个所述第二读数头以及至少三个不共线的所述光谱共焦位移传感器上方，所述第一方向和所述第二方向正交，且均沿水平方向。