一种射频等离子激发装置

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布勒莱宝光学设备(北京)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型属于射频等离子激发技术领域，尤其涉及一种射频等离子激发装置，包括外壳，所述外壳内部安装有电离室，所述电离室顶部连接有栅网，所述外壳内部设置有线圈，所述外壳底部左右两侧通过螺钉连接有支架。该射频等离子激发装置，通过线圈出水管与外壳冷却水管进水口连接，射频线圈在真空室内与外壳接地，避免射频在真空室外接地，造成射频外发对人体造成伤害，解决了背景技术中提出的射频水冷和外壳水冷分开，不但多需要一组进水穿墙法兰座，还会让进去的射频能量在线圈和外壳之间产生耗损，使用时外壳需要接地，不稳定，且进入离子源的射频，在线圈上耦合以后，出到真空室外，会有射频外放的风险造成人体伤害问题。