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一种基片的真空干燥装置及加工系统
摘要文本
武汉国创科光电装备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请涉及一种基片的真空干燥装置及加工系统，该基片的真空干燥装置包括：支撑件；输送组件，输送组件安装于支撑件，且输送组件用于支撑并输送基片；罩体，罩体位于支撑件上方，罩体下方开口设置；升降驱动组件，升降驱动组件与支撑件，和/或，罩体驱动连接，以带动支撑件或罩体升降运动，以使罩体适于扣合于支撑件，罩体和支撑件适于形成密封腔，输送组件位于密封腔内；负压装置，罩体，和/或，支撑件上开设有抽气口，负压装置的抽气端与抽气口连通。本申请利用输送组件对基片进行上下料，且设置升降驱动组件分离或扣合支撑件和罩体，优化了基片的上下料流程，提高了干燥加工效率，适用于基片的大批量干燥处理。。该数据由<>整理
专利主权项内容
1.一种基片的真空干燥装置，其特征在于，其包括：
支撑件；
输送组件，所述输送组件安装于所述支撑件，且所述输送组件用于支撑并输送基片；
罩体，所述罩体位于所述支撑件上方，所述罩体下方开口设置；
升降驱动组件，所述升降驱动组件与所述支撑件，和/或，所述罩体驱动连接，以带动所述支撑件或所述罩体升降运动，以使所述罩体适于扣合于所述支撑件，所述罩体和所述支撑件适于形成密封腔，所述输送组件位于所述密封腔内；
负压装置，所述罩体，和/或，所述支撑件上开设有抽气口，所述负压装置的抽气端与所述抽气口连通。 数据由 团 队整理
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种基片的真空干燥装置及加工系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420927262.1 |
| 申请日 | 2024/4/29 |
| 公告号 | CN222148134U |
| 公开日 | 2024/12/10 |
| IPC主分类号 | H10K71/00 |
| 权利人 | 武汉国创科光电装备有限公司 |
| 发明人 | 危银长; 付宇; 张友志; 唐伟 |
| 地址 | 湖北省武汉市东湖新技术开发区左岭镇左岭路117号光电子配套产业园一期厂房1号楼 |