立式炉晶舟升降系统及闭环控制方法
申请人信息
- 申请人:上海稷以科技有限公司
- 申请人地址:200241 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室
- 发明人: 上海稷以科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 立式炉晶舟升降系统及闭环控制方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311596676.7 |
| 申请日 | 2023/11/27 |
| 公告号 | CN117637539A |
| 公开日 | 2024/3/1 |
| IPC主分类号 | H01L21/67 |
| 权利人 | 上海稷以科技有限公司 |
| 发明人 | 刘强; 杨平 |
| 地址 | 上海市闵行区东川路555号戊楼4026室 |
摘要文本
上海稷以科技有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提出了一种立式炉晶舟升降系统及闭环控制方法，该系统包括：晶舟升降单元，用于密封炉管，其包括炉门、晶舟和晶舟升降组件；晶舟至于炉门的上表面，炉门与晶舟升降组件的输出端连接；外部检测单元，用于检测晶舟升降单元是否到达点位的真实位置，其包括：下部检测装置和上部检测装置；下部检测装置，用于检测零点位和下限位；上部检测装置，用于检测关键点位，并实现区间段检测。本发明中，伺服控制系统确认运动过程，外部检测装置确认运动结果，形成闭环控制。
专利主权项内容
1.一种立式炉晶舟升降系统，其特征在于，包括：晶舟升降单元，用于密封炉管(7)，其包括炉门(4)、晶舟(6)和晶舟升降组件；所述晶舟(6)至于炉门(4)的上表面，所述炉门(4)与晶舟升降组件的输出端连接；外部检测单元，用于检测晶舟升降单元是否到达点位的真实位置，其包括：下部检测装置(8)和上部检测装置(9)；所述下部检测装置(8)，用于检测零点位和下限位，其包括：原点光电位传感器(8a)和下限位光电传感器(8b)，均固定于晶舟升降组件的晶舟升降底座(10)，由上到下分布，其均为凹槽型对射传感器；原点光电位传感器(8a)的发射端和接收端位于传感器感应片(8c)的两侧；下限位光电传感器(8b)的发射端和接收端位于传感器感应片(8c)的两侧；所述传感器感应片(8c)，固定于炉门(4)；所述上部检测装置(9)，用于检测关键点位，并实现区间段检测，其包括：传感器支架(9d)，固定于晶舟升降底座(10)，用于安装转盘9b和光纤传感器(9c)；转盘(9b)，转动安装于传感器支架(9d)，其上开设弧形孔，弧形孔沿转盘(9b)的厚度方向贯穿转盘(9b)；光纤传感器(9c)，为对射传感器，包括发射传感器和接收传感器，两者均设置于转盘(9b)，沿转盘(9b)的厚度方向，两者位于转盘(9b)的不同侧。 （更多数据，详见马克数据网）