一种应用于真空光电子能谱工作站的气路系统

专利主权项内容

1.一种应用于真空光电子能谱工作站的气路系统，其特征在于，包括底座(1)、涡轮分子泵(2)、旋片真空泵(3)、连接管(4)、吸附管(5)、吸附阱(6)和快速进样室(7)，涡轮分子泵(2)和旋片真空泵(3)均固设在底座(1)上，涡轮分子泵(2)和旋片真空泵(3)通过连接管(4)连接，连接管(4)中部设置有吸附管(5)，吸附管(5)内设置有吸附阱(6)，吸附阱(6)内存放有吸附剂，涡轮分子泵(2)顶部可拆卸安装有快速进样室(7)；
吸附管(5)包括管体(51)、管盖(52)和密封垫片(53)，管体(51)内部具有内腔(54)，管体(51)内侧壁开设有卡槽(55)，吸附阱(6)与卡槽(55)卡接，管体(51)外圈开设有安装槽(56)，安装槽(56)与卡槽(55)连通，安装槽(56)内安装有密封垫片(53)，管盖(52)的一端与管体(51)铰接，管盖(52)的另一端通过螺栓螺母与管体(51)连接。