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MPCVD在线调节等离子体球位置的设备及方法
申请人信息
- 申请人:上海铂世光半导体科技有限公司
- 申请人地址:201707 上海市青浦区新科路303号1幢
- 发明人: 上海铂世光半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | MPCVD在线调节等离子体球位置的设备及方法 |
| 专利类型 | 发明申请 |
| 申请号 | CN202311408900.5 |
| 申请日 | 2023/10/27 |
| 公告号 | CN117448795A |
| 公开日 | 2024/1/26 |
| IPC主分类号 | C23C16/511 |
| 权利人 | 上海铂世光半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 张俊生; 胡常青; 井上英男 |
| 地址 | 上海市青浦区新科路303号1幢 |
摘要文本
上海铂世光半导体科技有限公司获取“一种透气窗帘布”专利技术，本发明提出了一种MPCVD在线调节等离子体球位置的设备及方法，该设备包括底板；外壳其下端面固定于底板，其顶部开设气孔；内腔壳用于生成等离子体球并调节等离子体球的位置，其位于外壳内，其下端面抵住底板并可沿着底板移动，内腔壳与外壳、底板共同围成供气体流动的夹层空间，其包括依次连通的上腔体和中腔体；下腔体用于将微波馈入中腔体，其位于中腔体内，其由圆环状石英微波窗口和水冷平台围成；腔外调节机构，用于调节内腔壳在外壳中的位置，其固定于外壳的外壁，其输出端穿过外壳并固定于内腔壳，其输出端可带动内腔壳水平移动。本发明可随时调节内腔的中心位置，使等离子球位于样品台正中间。 专利查询网
专利主权项内容
1.一种MPCVD在线调节等离子体球位置的设备，其特征在于，包括：底板(5)；外壳(12)，其下端面固定于底板(5)，其顶部开设气孔(13)；内腔壳(18)，用于生成等离子体球(15)并调节等离子体球(15)的位置，其位于外壳(12)内，其下端面抵住所述底板(5)并可沿着底板(5)移动，所述内腔壳(18)与外壳(12)、底板(5)共同围成供气体流动的夹层空间，其包括依次连通的上腔体(1)和中腔体(2)；所述内腔壳(18)的顶部开设内腔气孔(19)；下腔体(3)，用于将微波馈入所述中腔体(2)，其位于所述中腔体(2)内，其由圆环状石英微波窗口(6)和水冷平台(4)围成，所述圆环状石英微波窗口(6)固定于底板(5)和水冷平台(4)下端面之间；腔外调节机构，用于调节内腔壳(18)在外壳(12)中的位置，其固定于所述外壳(12)的外壁，其输出端穿过所述外壳(12)并固定于内腔壳(18)，其输出端可带动内腔壳(18)水平移动。